共 50 条
基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法
被引：0
申请号：
CN202211068992.2
申请日：
2022-09-02
公开(公告)号：
CN115451842A
公开(公告)日：
2022-12-09
发明(设计)人：
谢昊
郭天太
王浩
申请人：
申请人地址：
310018 浙江省杭州市学源街258号中国计量大学
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-09 | 公开 | 公开 |
