一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411485181.1

申请日：

2024-10-23

公开(公告)号：

CN118999381A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

胡继洲胡美琴郑建

申请人：

浙江双元科技股份有限公司

申请人地址：

310015 浙江省杭州市拱墅区莫干山路1418-41号2号楼

IPC主分类号：

G01B11/06

IPC分类号：

代理机构：

北京市隆安律师事务所 11323

代理人：

伍佳

法律状态：

授权

国省代码：

湖北省随州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-28	授权	授权
2024-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20241023
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1] 一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统 [P].

胡继洲 ;

胡美琴 ;

郑建 .

中国专利 :CN118999381B ,2025-01-28

[2] 基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法 [P].

谢昊 ;

郭天太 ;

王浩 .

中国专利 :CN115451842A ,2022-12-09

[3] 一种薄膜厚度测量方法及系统 [P].

程菊 ;

边心田 ;

雷枫 .

中国专利 :CN106441125A ,2017-02-22

[4] 一种薄膜厚度的测量方法及光学测量系统 [P].

陈鲁 ;

孙韬 ;

白园园 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN120101654A ,2025-06-06

[5] 薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[6] 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[7] 一种薄膜厚度测量方法 [P].

马骏 ;

李江辉 ;

石雅婷 ;

张传维 ;

李伟奇 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112880574B ,2021-06-01

[8] 薄膜厚度测量方法及装置 [P].

李起贤 ;

权途圣 ;

奇锡 ;

孙判睦 ;

车敏彻 ;

崔秉国 .

中国专利 :CN114166164A ,2022-03-11

[9] 一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法 [P].

雷李华 ;

曹程明 ;

沈瑶琼 ;

管钰晴 ;

邹文哲 ;

傅云霞 .

中国专利 :CN115112028A ,2022-09-27

[10] 一种薄膜厚度共聚焦测量方法及系统 [P].

孙启盟 ;

宋毅 ;

倪闻涛 .

中国专利 :CN117968539A ,2024-05-03

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