薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510090086.X

申请日：

2025-01-21

公开(公告)号：

CN120351872A

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

张原赫李洙莲李孝善咸守娥

申请人：

三星显示有限公司

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G01B15/02

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

史迎雪;康泉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	公开	公开

共 50 条

[1] 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[2] 薄膜厚度测量方法及装置 [P].

李起贤 ;

权途圣 ;

奇锡 ;

孙判睦 ;

车敏彻 ;

崔秉国 .

中国专利 :CN114166164A ,2022-03-11

[3] 薄膜厚度测量装置 [P].

肖青 ;

傅谦 ;

张大龙 ;

王兴龙 .

中国专利 :CN204043623U ,2014-12-24

[4] 薄膜厚度测量装置 [P].

郑志远 ;

樊振军 ;

张自力 .

中国专利 :CN202041181U ,2011-11-16

[5] 薄膜厚度测量装置 [P].

刘飞翔 ;

蒲以康 .

中国专利 :CN103673903A ,2014-03-26

[6] 薄膜厚度测量装置 [P].

李焯 ;

杨进城 ;

钟茂声 ;

吕文选 .

中国专利 :CN87207427U ,1988-04-20

[7] 改进的薄膜厚度测量方法和装置 [P].

M·福克斯 ;

M·约菲 ;

M·巴尼特 .

中国专利 :CN1291284A ,2001-04-11

[8] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279969A ,2015-01-14

[9] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[10] 外延薄膜厚度测量方法 [P].

李秀然 ;

李春雷 .

中国专利 :CN102005401A ,2011-04-06

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