金属薄膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510894224.6

申请日：

2015-12-07

公开(公告)号：

CN105448765B

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

梁海林孙洪福丁同国张显良

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	公开	公开
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657704112 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2015108942246 申请日:20151207
2017-12-08	授权	授权

共 50 条

[1] 一种金属薄膜厚度无损测量方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

沈月 ;

王传军 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

刘子其 .

中国专利 :CN117570861A ,2024-02-20

[2] 薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[3] 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[4] 一种基于电阻法的金属薄膜厚度测量方法 [P].

潘淼 ;

王锋 ;

徐峰 ;

陈文志 ;

苏建志 ;

吴平辉 ;

谢清来 .

中国专利 :CN112097626A ,2020-12-18

[5] 外延薄膜厚度测量方法 [P].

李秀然 ;

李春雷 .

中国专利 :CN102005401A ,2011-04-06

[6] 薄膜厚度的测量方法和设备 [P].

T·W·贾辛斯基 ;

F·M·哈兰 .

中国专利 :CN101120230A ,2008-02-06

[7] 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法 [P].

赵乾 ;

孟永钢 ;

乐承宁 ;

路新春 .

中国专利 :CN101788260B ,2010-07-28

[8] 化镀金属层薄膜厚度的测量方法 [P].

包茜莲 ;

谭秀文 ;

肖酉 ;

朱田 ;

张宗尧 .

中国专利 :CN118737868A ,2024-10-01

[9] 用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法 [P].

窦华成 ;

李丹 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN120194601A ,2025-06-24

[10] 用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法 [P].

窦华成 ;

李丹 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN120194602A ,2025-06-24

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