金属薄膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510894224.6

申请日：

2015-12-07

公开(公告)号：

CN105448765B

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

梁海林孙洪福丁同国张显良

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	公开	公开
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657704112 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2015108942246 申请日:20151207
2017-12-08	授权	授权

共 50 条

[41] 厚度测量装置与厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279968B ,2018-05-22

[42] LED式固态红外薄膜厚度测量方法 [P].

何平 ;

何露雅 ;

杨旭东 ;

刘俊武 ;

钱玉恒 .

中国专利 :CN101839695A ,2010-09-22

[43] 晶圆薄膜厚度测量方法及设备 [P].

周惠言 ;

孟炜涛 ;

孙昕宇 ;

蒋继乐 ;

黄银国 ;

葛乃义 .

中国专利 :CN119468944A ,2025-02-18

[44] 厚度测量系统以及厚度测量方法 [P].

古田哲夫 ;

石冢照雄 .

中国专利 :CN103890540A ,2014-06-25

[45] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

本胁淑雄 .

中国专利 :CN107305118A ,2017-10-31

[46] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

D·克雷坦 .

中国专利 :CN104619264A ,2015-05-13

[47] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763A ,2021-01-12

[48] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN114325734A ,2022-04-12

[49] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN107037437B ,2017-08-11

[50] 厚度测量机的测量方法 [P].

余少华 ;

许成 ;

陆小勇 .

中国专利 :CN108940909A ,2018-12-07

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