金属薄膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510894224.6

申请日：

2015-12-07

公开(公告)号：

CN105448765B

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

梁海林孙洪福丁同国张显良

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-30	公开	公开
2016-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101657704112 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2015108942246 申请日:20151207
2017-12-08	授权	授权

共 50 条

[21] 薄膜厚度的测量方法和装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118999377A ,2024-11-22

[22] 一种薄膜层厚度测量方法及测量装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118794359A ,2024-10-18

[23] 厚度测量系统及测量方法 [P].

汤灿东 ;

罗家明 ;

吴伟平 .

中国专利 :CN119146905A ,2024-12-17

[24] 厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

[25] 用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量方法 [P].

刘庆钢 ;

刘超 ;

樊志国 ;

刘士毅 ;

陈良泽 ;

梁君 .

中国专利 :CN103226007A ,2013-07-31

[26] 厚度测量方法 [P].

任项生 ;

罗卫强 .

中国专利 :CN105371773A ,2016-03-02

[27] 晶圆表面金属膜厚度测量方法 [P].

李辉 ;

梅双 .

中国专利 :CN112635349B ,2021-04-09

[28] 用于晶圆的金属薄膜厚度测量方法、装置、抛光设备和介质 [P].

路新春 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

刘杰 .

中国专利 :CN117681117A ,2024-03-12

[29] 用于晶圆的金属薄膜厚度测量方法、装置、抛光设备和介质 [P].

路新春 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

刘杰 .

中国专利 :CN117681117B ,2024-05-17

[30] 金属凸块的厚度测量方法 [P].

谢志峰 ;

张挺 ;

黄涛 .

中国专利 :CN106298574A ,2017-01-04

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