用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310137996.6

申请日：

2013-04-19

公开(公告)号：

CN103226007A

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

刘庆钢刘超樊志国刘士毅陈良泽梁君

申请人：

申请人地址：

300072 天津市南开区南开区卫津路92号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

天津才智专利商标代理有限公司 12108

代理人：

王顕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101511725080 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2013101379966 申请日:20130419
2016-11-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741080818 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2013101379966 申请公布日:20130731
2013-07-31	公开	公开

共 50 条

[1] 用于测量纳米级双层金属薄膜厚度的SPR相位测量方法 [P].

刘庆纲 ;

刘超 ;

秦自瑞 ;

解娴 ;

郎垚璞 ;

刘睿旭 ;

李洋 .

中国专利 :CN106091953B ,2016-11-09

[2] 用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR相位测量装置 [P].

刘庆钢 ;

刘超 ;

樊志国 ;

刘士毅 ;

陈良泽 ;

梁君 .

中国专利 :CN103234468A ,2013-08-07

[3] 用于测量纳米级金属薄膜厚度的SPR差动相位测量方法 [P].

刘庆纲 ;

秦自瑞 ;

解娴 ;

李洋 ;

郎垚璞 ;

刘睿旭 ;

岳翀 .

中国专利 :CN108120382A ,2018-06-05

[4] 用于纳米级金属薄膜厚度测量的差动式SPR相位检测装置 [P].

刘庆纲 ;

秦自瑞 ;

解娴 ;

李洋 ;

郎垚璞 ;

刘睿旭 ;

岳翀 .

中国专利 :CN108120381A ,2018-06-05

[5] 一种用于测量薄膜厚度的增强型SPR相位测量方法 [P].

刘庆纲 ;

王奇 ;

岳翀 ;

李阳 ;

郎垚璞 .

中国专利 :CN118057116A ,2024-05-21

[6] SPR相位测量金属薄膜厚度和光学常数SAPSO方法 [P].

刘庆纲 ;

岳翀 ;

秦自瑞 ;

郎垚璞 ;

宋皓杰 ;

王艺璇 .

中国专利 :CN108827166B ,2018-11-16

[7] SPR相位测量金属薄膜厚度和光学常数的IAGA方法 [P].

刘庆纲 ;

岳翀 ;

秦自瑞 ;

郎垚璞 ;

宋皓杰 ;

王艺璇 .

中国专利 :CN108844474B ,2018-11-20

[8] 纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法 [P].

李弘恺 ;

卢杏浩 ;

王金龙 ;

张彤 .

中国专利 :CN118936291A ,2024-11-12

[9] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[10] 用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法 [P].

窦华成 ;

李丹 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN120194601A ,2025-06-24

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