一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010129185.8

申请日：

2010-03-18

公开(公告)号：

CN101788260B

公开(公告)日：

2010-07-28

发明(设计)人：

赵乾孟永钢乐承宁路新春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室

IPC主分类号：

G01B706

IPC分类号：

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

邸更岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-28	公开	公开
2011-12-28	授权	授权
2010-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006040204 IPC(主分类):G01B 7/06 专利申请号:2010101291858 申请日:20100318

共 50 条

[1] 纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法 [P].

李弘恺 ;

卢杏浩 ;

王金龙 ;

张彤 .

中国专利 :CN118936291A ,2024-11-12

[2] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[3] 一种基于电涡流磁场探测的金属薄膜厚度测量方法及系统 [P].

刘晔 ;

邵诗佳 ;

王萍 ;

廖微燕 ;

陈依鑫 ;

谢扬 ;

邱阳 ;

朱明敏 ;

郁国良 ;

王嘉维 ;

李燕 ;

周浩淼 .

中国专利 :CN118463790A ,2024-08-09

[4] 一种基于涡流检测的金属构件厚度测量方法 [P].

黄松岭 ;

黄璞 ;

彭丽莎 ;

李世松 ;

温舒智 ;

张敬华 ;

魏丙坤 .

中国专利 :CN119756148A ,2025-04-04

[5] 一种金属薄膜厚度无损测量方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

沈月 ;

王传军 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

刘子其 .

中国专利 :CN117570861A ,2024-02-20

[6] 一种基于电阻法的金属薄膜厚度测量方法 [P].

潘淼 ;

王锋 ;

徐峰 ;

陈文志 ;

苏建志 ;

吴平辉 ;

谢清来 .

中国专利 :CN112097626A ,2020-12-18

[7] 用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法 [P].

窦华成 ;

李丹 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN120194601A ,2025-06-24

[8] 用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法 [P].

窦华成 ;

李丹 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN120194602A ,2025-06-24

[9] 用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法 [P].

窦华成 ;

李丹 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN116772703B ,2025-04-15

[10] 用于晶圆的金属薄膜厚度测量方法、装置、抛光设备和介质 [P].

路新春 ;

吴英明 ;

田芳馨 ;

刘杰 .

中国专利 :CN117681117A ,2024-03-12

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