一种基于电涡流磁场探测的金属薄膜厚度测量方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410582879.9

申请日：

2024-05-11

公开(公告)号：

CN118463790A

公开(公告)日：

2024-08-09

发明(设计)人：

刘晔邵诗佳王萍廖微燕陈依鑫谢扬邱阳朱明敏郁国良王嘉维李燕周浩淼

申请人：

中国计量大学

申请人地址：

310018 浙江省杭州市市辖区下沙高教园区学源街258号

IPC主分类号：

G01B7/06

IPC分类号：

代理机构：

沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 21241

代理人：

屈芳

法律状态：

公开

国省代码：

浙江省金华市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-09	公开	公开

共 50 条

[1] 一种金属薄膜厚度的电涡流测量方法 [P].

赵乾 ;

孟永钢 ;

乐承宁 ;

路新春 .

中国专利 :CN101788260B ,2010-07-28

[2] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[3] 纳米级金属薄膜厚度电涡流测量平台及方法 [P].

李弘恺 ;

卢杏浩 ;

王金龙 ;

张彤 .

中国专利 :CN118936291A ,2024-11-12

[4] 一种薄膜厚度测量方法及系统 [P].

程菊 ;

边心田 ;

雷枫 .

中国专利 :CN106441125A ,2017-02-22

[5] 一种基于电阻法的金属薄膜厚度测量方法 [P].

潘淼 ;

王锋 ;

徐峰 ;

陈文志 ;

苏建志 ;

吴平辉 ;

谢清来 .

中国专利 :CN112097626A ,2020-12-18

[6] 一种金属薄膜厚度无损测量方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

沈月 ;

王传军 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

刘子其 .

中国专利 :CN117570861A ,2024-02-20

[7] 一种薄膜厚度的测量方法及光学测量系统 [P].

陈鲁 ;

孙韬 ;

白园园 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN120101654A ,2025-06-06

[8] 一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统 [P].

胡继洲 ;

胡美琴 ;

郑建 .

中国专利 :CN118999381A ,2024-11-22

[9] 一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统 [P].

胡继洲 ;

胡美琴 ;

郑建 .

中国专利 :CN118999381B ,2025-01-28

[10] 一种基于微波透射法的金属薄膜厚度测量方法 [P].

叶鸣 ;

贺永宁 ;

王怡然 ;

张松昌 ;

赵小龙 ;

王露 .

中国专利 :CN106643587B ,2017-05-10

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