一种薄膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110026520.X

申请日：

2021-01-08

公开(公告)号：

CN112880574B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

马骏李江辉石雅婷张传维李伟奇郭春付

申请人：

申请人地址：

201700 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

刘璐

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	授权	授权
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20210108
2021-06-01	公开	公开

共 50 条

[1] 薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[2] 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[3] 一种薄膜厚度在线测量方法 [P].

侯林涛 ;

黄洪宇 ;

沈子阳 ;

樊一静 ;

沈超 ;

李卓奇 .

中国专利 :CN118602958A ,2024-09-06

[4] 一种薄膜厚度测量方法及系统 [P].

程菊 ;

边心田 ;

雷枫 .

中国专利 :CN106441125A ,2017-02-22

[5] 薄膜厚度测量方法及装置 [P].

李起贤 ;

权途圣 ;

奇锡 ;

孙判睦 ;

车敏彻 ;

崔秉国 .

中国专利 :CN114166164A ,2022-03-11

[6] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[7] 外延薄膜厚度测量方法 [P].

李秀然 ;

李春雷 .

中国专利 :CN102005401A ,2011-04-06

[8] 一种薄膜厚度的测量方法及光学测量系统 [P].

陈鲁 ;

孙韬 ;

白园园 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN120101654A ,2025-06-06

[9] 一种薄膜厚度共聚焦测量方法及系统 [P].

孙启盟 ;

宋毅 ;

倪闻涛 .

中国专利 :CN117968539A ,2024-05-03

[10] 一种金属薄膜厚度无损测量方法 [P].

李思勰 ;

闻明 ;

沈月 ;

王传军 ;

巢云秀 ;

许彦亭 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

刘子其 .

中国专利 :CN117570861A ,2024-02-20

← 1 2 3 4 5 →