一种薄膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110026520.X

申请日：

2021-01-08

公开(公告)号：

CN112880574B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

马骏李江辉石雅婷张传维李伟奇郭春付

申请人：

申请人地址：

201700 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

刘璐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	授权	授权
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20210108
2021-06-01	公开	公开

共 50 条

[21] 基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法 [P].

谢昊 ;

郭天太 ;

王浩 .

中国专利 :CN115451842A ,2022-12-09

[22] 薄膜厚度的测量方法和设备 [P].

T·W·贾辛斯基 ;

F·M·哈兰 .

中国专利 :CN101120230A ,2008-02-06

[23] 一种磨削液体薄膜厚度测量装置及其测量方法 [P].

徐仰立 ;

李昊清 ;

杨泽凌 ;

任晨旭 ;

黄国钦 ;

徐西鹏 .

中国专利 :CN118189833A ,2024-06-14

[24] 一种厚度测量方法 [P].

盛焕杰 ;

徐衍 ;

杨靖 ;

胡美琴 ;

郑建 .

中国专利 :CN119022839B ,2025-02-07

[25] 一种厚度测量方法 [P].

蔡金辉 .

中国专利 :CN111426293A ,2020-07-17

[26] 一种厚度测量方法及厚度测量系统 [P].

赵刚 .

中国专利 :CN104330063B ,2015-02-04

[27] 一种共光路自校准薄膜厚度测量装置及测量方法 [P].

苑勇贵 ;

卢旭 ;

杨军 ;

彭峰 ;

李寒阳 ;

卢东川 ;

祝海波 ;

苑立波 .

中国专利 :CN107167085B ,2017-09-15

[28] 一种厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

蔡道炎 ;

王进东 ;

敖学如 ;

饶晓雷 ;

胡伯平 .

中国专利 :CN103868461A ,2014-06-18

[29] 一种位相增强型薄膜厚度测量方法和系统 [P].

丁志华 ;

沈毅 ;

陈志彦 ;

赵晨 ;

鲍文 ;

李鹏 .

中国专利 :CN104655029B ,2015-05-27

[30] 一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统 [P].

胡继洲 ;

胡美琴 ;

郑建 .

中国专利 :CN118999381A ,2024-11-22

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