一种共光路自校准薄膜厚度测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710277954.0

申请日：

2017-04-25

公开(公告)号：

CN107167085B

公开(公告)日：

2017-09-15

发明(设计)人：

苑勇贵卢旭杨军彭峰李寒阳卢东川祝海波苑立波

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-15	公开	公开
2022-12-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01B 11/06 登记生效日:20221215 变更事项:专利权人变更前权利人:哈尔滨工程大学变更后权利人:合肥智海科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号哈尔滨工程大学科技处知识产权办公室变更后权利人:230000 安徽省合肥市高新区柏堰科技园柏堰湾路200号
2019-09-27	授权	授权
2017-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20170425

共 50 条

[1] 偏振复用的共光路自校准薄膜厚度测量装置及测量方法 [P].

苑勇贵 ;

卢旭 ;

杨军 ;

彭峰 ;

李寒阳 ;

卢东川 ;

祝海波 ;

苑立波 .

中国专利 :CN107339943A ,2017-11-10

[2] 消除透射光的共光路自校准薄膜厚度与折射率的测量方法 [P].

杨军 ;

卢旭 ;

苑勇贵 ;

李寒阳 ;

马驰 ;

祝海波 ;

张建中 ;

苑立波 .

中国专利 :CN108317962B ,2018-07-24

[3] 一种薄膜厚度的测量方法及光学测量系统 [P].

陈鲁 ;

孙韬 ;

白园园 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN120101654A ,2025-06-06

[4] 薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[5] 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[6] 薄膜厚度测量方法及装置 [P].

李起贤 ;

权途圣 ;

奇锡 ;

孙判睦 ;

车敏彻 ;

崔秉国 .

中国专利 :CN114166164A ,2022-03-11

[7] 一种薄膜层厚度测量方法及测量装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118794359A ,2024-10-18

[8] 厚度测量系统及测量方法 [P].

汤灿东 ;

罗家明 ;

吴伟平 .

中国专利 :CN119146905A ,2024-12-17

[9] 一种薄膜厚度测量方法 [P].

马骏 ;

李江辉 ;

石雅婷 ;

张传维 ;

李伟奇 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112880574B ,2021-06-01

[10] 厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

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