一种薄膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110026520.X

申请日：

2021-01-08

公开(公告)号：

CN112880574B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

马骏李江辉石雅婷张传维李伟奇郭春付

申请人：

申请人地址：

201700 上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242

代理人：

刘璐

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	授权	授权
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20210108
2021-06-01	公开	公开

共 50 条

[41] 一种聚酰亚胺薄膜厚度测量方法及系统 [P].

徐建军 .

中国专利 :CN118816734A ,2024-10-22

[42] 一种聚酰亚胺薄膜厚度测量方法及系统 [P].

徐建军 .

中国专利 :CN118816734B ,2025-01-10

[43] 一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法 [P].

雷李华 ;

曹程明 ;

沈瑶琼 ;

管钰晴 ;

邹文哲 ;

傅云霞 .

中国专利 :CN115112028A ,2022-09-27

[44] 一种用于二维材料薄膜厚度测量的高效光学测量方法 [P].

高波 ;

雷佳雨 .

中国专利 :CN109373918B ,2019-02-22

[45] 一种实时厚度测量方法和厚度测量装置 [P].

张杰 ;

陈扬 ;

司程鑫 .

中国专利 :CN119648772A ,2025-03-18

[46] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279969A ,2015-01-14

[47] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

日本专利 :CN114325734B ,2025-02-25

[48] 厚度测量装置与厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279968B ,2018-05-22

[49] 厚度测量系统以及厚度测量方法 [P].

古田哲夫 ;

石冢照雄 .

中国专利 :CN103890540A ,2014-06-25

[50] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

本胁淑雄 .

中国专利 :CN107305118A ,2017-10-31

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