一种用于二维材料薄膜厚度测量的高效光学测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811548329.6

申请日：

2018-12-18

公开(公告)号：

CN109373918B

公开(公告)日：

2019-02-22

发明(设计)人：

高波雷佳雨

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213

代理人：

岳昕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-28	授权	授权
2021-11-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20181218 授权公告日:20200828 终止日期:20201218
2019-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20181218
2019-02-22	公开	公开

共 50 条

[1] 一种薄膜厚度的测量方法及光学测量系统 [P].

陈鲁 ;

孙韬 ;

白园园 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN120101654A ,2025-06-06

[2] 薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[3] 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[4] 二维测量机及二维测量方法 [P].

布施大辅 ;

足立伸夫 .

中国专利 :CN102365521A ,2012-02-29

[5] 一种用于二维角度姿态测量的光学装置及测量方法 [P].

黄玉 ;

张丽婷 ;

武立华 .

中国专利 :CN120593699A ,2025-09-05

[6] 一种薄膜厚度测量方法 [P].

马骏 ;

李江辉 ;

石雅婷 ;

张传维 ;

李伟奇 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112880574B ,2021-06-01

[7] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[8] 一种新型光学曲面二维测量方法及其测量系统 [P].

王钢 ;

卫欣欣 .

中国专利 :CN110017792A ,2019-07-16

[9] 二维闪烁测量装置、二维闪烁测量系统、二维闪烁测量方法以及二维闪烁测量程序 [P].

増田敏 .

中国专利 :CN111164407B ,2020-05-15

[10] 一种用于半导体器件材料厚度的光学测量方法 [P].

封国强 ;

马英起 ;

韩建伟 ;

上官士鹏 ;

朱翔 ;

陈睿 .

中国专利 :CN105136049A ,2015-12-09

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