基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法

被引：0

申请号：

CN202211068992.2

申请日：

2022-09-02

公开(公告)号：

CN115451842A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

谢昊郭天太王浩

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市学源街258号中国计量大学

IPC主分类号：

G01B1106

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法律状态：

公开

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[41] SiO2薄膜厚度的测量方法 [P].

康志龙 ;

刘辉 ;

郭艳菊 .

中国专利 :CN103115575A ,2013-05-22

[42] 一种基于辉光放电质谱的薄膜厚度测量方法 [P].

杨建正 ;

周涛 ;

刘义赫 ;

张见营 .

中国专利 :CN118623773A ,2024-09-10

[43] 一种薄膜厚度的测量方法及光学测量系统 [P].

陈鲁 ;

孙韬 ;

白园园 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN120101654A ,2025-06-06

[44] 一种高精度激光干涉仪及其测量方法 [P].

尹云飞 ;

李朝辉 ;

赵建科 ;

马臻 ;

魏紫薇 ;

朱辉 ;

刘勇 ;

毛振 .

中国专利 :CN117470090A ,2024-01-30

[45] 基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统及方法 [P].

邱学军 ;

王涵 ;

郭旖 ;

田欣野 ;

曹振洲 .

中国专利 :CN115493503A ,2022-12-20

[46] 基于激光偏振干涉的纳米位移实时测量系统及方法 [P].

邱学军 ;

王涵 ;

郭旖 ;

田欣野 ;

曹振洲 .

中国专利 :CN115493503B ,2025-03-04

[47] 一种薄膜厚度测量方法及系统 [P].

程菊 ;

边心田 ;

雷枫 .

中国专利 :CN106441125A ,2017-02-22

[48] 基于小频差与光束分离的激光外差干涉测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刁晓飞 ;

胡鹏程 ;

杨千惠 ;

白洋 .

中国专利 :CN102853770A ,2013-01-02

[49] 基于光干涉原理的材料光致形变系数测量方法及测量系统 [P].

吕英波 ;

吴佳霖 ;

董亮 ;

赵依洋 ;

孙浩然 ;

刘汇文 ;

刘董 ;

武中臣 ;

丛伟艳 .

中国专利 :CN118936346A ,2024-11-12

[50] 一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法 [P].

雷李华 ;

曹程明 ;

沈瑶琼 ;

管钰晴 ;

邹文哲 ;

傅云霞 .

中国专利 :CN115112028A ,2022-09-27

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