基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法

被引：0

申请号：

CN202211068992.2

申请日：

2022-09-02

公开(公告)号：

CN115451842A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

谢昊郭天太王浩

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市学源街258号中国计量大学

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

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法律状态：

公开

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[21] 改进的薄膜厚度测量方法和装置 [P].

M·福克斯 ;

M·约菲 ;

M·巴尼特 .

中国专利 :CN1291284A ,2001-04-11

[22] 双重入射Littrow式光栅干涉仪及其测量方法 [P].

李朝辉 ;

尹云飞 ;

赵建科 ;

魏紫薇 ;

陆琳 ;

刘巍 ;

毛振 ;

刘金博 .

中国专利 :CN117470093A ,2024-01-30

[23] 基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量装置 [P].

谭东杰 ;

关国业 ;

林方 .

中国专利 :CN206362308U ,2017-07-28

[24] 一种干涉-荧光原位耦合的荧光染色薄膜厚度测量方法 [P].

王文中 ;

陈虹百 ;

梁鹤 .

中国专利 :CN116447987B ,2025-07-01

[25] 一种薄膜厚度测量方法 [P].

马骏 ;

李江辉 ;

石雅婷 ;

张传维 ;

李伟奇 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112880574B ,2021-06-01

[26] 一种基于光学干涉原理的轴承振动测量装置及其测量方法 [P].

洪占勇 ;

郑书林 ;

杨永跃 ;

周成武 ;

张袁 .

中国专利 :CN111272430A ,2020-06-12

[27] 薄膜厚度的测量方法和设备 [P].

T·W·贾辛斯基 ;

F·M·哈兰 .

中国专利 :CN101120230A ,2008-02-06

[28] 基于大尺寸光斑的光栅干涉测量装置及测量方法 [P].

边心田 ;

左芬 ;

成金龙 ;

程菊 .

中国专利 :CN120274676A ,2025-07-08

[29] 基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

刘昌华 ;

贾建禄 .

中国专利 :CN119984087A ,2025-05-13

[30] 基于双频正交线偏振光干涉的空气折射率测量方法及装置 [P].

陈本永 ;

严利平 ;

周砚江 ;

李超荣 .

中国专利 :CN103063608B ,2013-04-24

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