基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法

被引：0

申请号：

CN202211068992.2

申请日：

2022-09-02

公开(公告)号：

CN115451842A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

谢昊郭天太王浩

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市学源街258号中国计量大学

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[11] 一种基于白光干涉的薄膜厚度测量方法及系统 [P].

胡继洲 ;

胡美琴 ;

郑建 .

中国专利 :CN118999381B ,2025-01-28

[12] 基于激光合成波长干涉原理的波长测量方法及装置 [P].

陈本永 ;

严利平 ;

田秋红 ;

刘燕娜 ;

楼盈天 .

中国专利 :CN103439010A ,2013-12-11

[13] 基于双频激光干涉的二维测量装置 [P].

王昭 ;

汤善治 ;

高建民 ;

蒋志雄 ;

郭俊杰 .

中国专利 :CN102003939A ,2011-04-06

[14] 一种基于法珀干涉原理的光学芯片厚度测量方法及装置 [P].

马骢 ;

陈青松 ;

李金洋 ;

毛国培 ;

史青 ;

于勇 .

中国专利 :CN118776471A ,2024-10-15

[15] 测量硬盘磁头飞行高度的系统及共光路双频激光干涉测量方法 [P].

孟永钢 ;

林德教 ;

岳兆阳 ;

宋南海 ;

殷纯永 .

中国专利 :CN1844847A ,2006-10-11

[16] 薄膜厚度测量方法及装置 [P].

李起贤 ;

权途圣 ;

奇锡 ;

孙判睦 ;

车敏彻 ;

崔秉国 .

中国专利 :CN114166164A ,2022-03-11

[17] 双频激光光栅干涉测量方法及测量系统 [P].

颜树华 ;

王国超 ;

杨俊 ;

周卫红 ;

杨东兴 .

中国专利 :CN102353327A ,2012-02-15

[18] 一种基于激光干涉原理的凸轮测量装置及测量方法 [P].

林虎 ;

薛梓 ;

杨国梁 ;

杨武伟 .

中国专利 :CN111895910A ,2020-11-06

[19] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

[20] 外延薄膜厚度测量方法 [P].

李秀然 ;

李春雷 .

中国专利 :CN102005401A ,2011-04-06

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