基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720017316.0

申请日：

2017-01-07

公开(公告)号：

CN206362308U

公开(公告)日：

2017-07-28

发明(设计)人：

谭东杰关国业林方

申请人：

申请人地址：

610065 四川省成都市武侯区一环路南一段24号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

成都科海专利事务有限责任公司 51202

代理人：

吕建平

法律状态：

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国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-28	授权	授权

共 50 条

[1] 基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量方法及测量装置 [P].

谭东杰 ;

关国业 ;

林方 .

中国专利 :CN106871797A ,2017-06-20

[2] 一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置 [P].

唐慧强 ;

唐嘉鹏 ;

徐灵杰 ;

徐刚 .

中国专利 :CN210221371U ,2020-03-31

[3] 基于迈克尔逊干涉的非接触式液体浓度在线快速测量装置 [P].

孔泉慧子 ;

张瑞 ;

徐承雨 .

中国专利 :CN117347270A ,2024-01-05

[4] 一种基于迈克尔逊干涉原理的复合干涉绝对位移测量装置 [P].

黄增文 ;

陈敏 ;

朱泉水 ;

吴奇明 ;

朱江 ;

李禛苗 .

中国专利 :CN205679196U ,2016-11-09

[5] 一种基于迈克尔逊干涉原理的高精度测量仪 [P].

戴志平 .

中国专利 :CN112697038A ,2021-04-23

[6] 基于迈克尔逊干涉原理的全光学气体探测方法及装置 [P].

董磊 ;

武红鹏 ;

刘研研 .

中国专利 :CN103543125B ,2014-01-29

[7] 基于迈克尔逊干涉测量的激光光斑宽度测量装置 [P].

洪良 ;

刘海强 .

中国专利 :CN205785074U ,2016-12-07

[8] 基于迈克尔逊干涉原理的光学吸收池光程精密探测装置 [P].

唐风 ;

马浩 ;

彭欣怡 ;

陶棚宇 ;

邢国松 ;

王诗崎 ;

马宏亮 .

中国专利 :CN220729172U ,2024-04-05

[9] 基于迈克尔逊干涉的太赫兹波长双路测量装置 [P].

方波 ;

邬佳璐 ;

叶亮成 ;

丁佳文 ;

于建 .

中国专利 :CN112414566A ,2021-02-26

[10] 基于迈克尔逊干涉法的金属线胀系数测量装置 [P].

董赫 ;

邓孟莹 ;

李佳祎 .

中国专利 :CN104297285A ,2015-01-21

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