基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910100065.2

申请日：

2009-06-22

公开(公告)号：

CN101581576A

公开(公告)日：

2009-11-18

发明(设计)人：

陈本永张恩政严利平杨涛周砚江

申请人：

申请人地址：

310018浙江省杭州市江干区经济技术开发区白杨街道2号大街5号

IPC主分类号：

G01B1126

IPC分类号：

G01B1100 G01B1102

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

林怀禹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-11-18	公开	公开
2014-08-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101584448259 IPC(主分类):G01B 11/26 专利号:ZL2009101000652 申请日:20090622 授权公告日:20100908 终止日期:20130622
2010-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-09-08	授权	授权

共 50 条

[1] 基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置 [P].

陈本永 ;

张恩政 ;

严利平 ;

杨涛 ;

周砚江 .

中国专利 :CN101581577A ,2009-11-18

[2] 一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量装置 [P].

陈本永 ;

张恩政 ;

严利平 ;

杨涛 ;

周砚江 .

中国专利 :CN201413130Y ,2010-02-24

[3] 基于双频干涉原理的薄膜厚度测量方法 [P].

谢昊 ;

郭天太 ;

王浩 .

中国专利 :CN115451842A ,2022-12-09

[4] 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统 [P].

叶瑞芳 ;

程方 ;

苏杭 ;

崔长彩 ;

余卿 ;

王寅 .

中国专利 :CN109883362A ,2019-06-14

[5] 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统 [P].

叶瑞芳 ;

程方 ;

苏杭 ;

崔长彩 ;

余卿 ;

王寅 .

中国专利 :CN109883362B ,2024-02-02

[6] 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统 [P].

叶瑞芳 ;

程方 ;

苏杭 ;

崔长彩 ;

余卿 ;

王寅 .

中国专利 :CN209623647U ,2019-11-12

[7] 单频干涉直线度误差及其位置测量与补偿的装置及方法 [P].

陈本永 ;

楼盈天 ;

严利平 ;

张恩政 .

中国专利 :CN106885535B ,2017-06-23

[8] 横向塞曼双频激光直线度/同轴度测量装置 [P].

殷纯永 ;

陈强华 ;

吴健 .

中国专利 :CN1417556A ,2003-05-14

[9] 基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法 [P].

刘炳国 ;

刘国栋 ;

浦昭邦 ;

陈凤东 ;

胡涛 ;

庄志涛 ;

宫娜 .

中国专利 :CN102538715A ,2012-07-04

[10] 直线度误差和位置同时测量的检测装置 [P].

陈宁 ;

郭钢祥 ;

郭斌 ;

王超 ;

谢昊 .

中国专利 :CN217786099U ,2022-11-11

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