集成电路的磁场检测方法及缺陷检测方法、装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202210141423.X
申请日
2022-02-16
公开(公告)号
CN114200363B
公开(公告)日
2022-03-18
发明(设计)人
孙峰 万传奇
申请人
申请人地址
230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼A区1-4层
IPC主分类号
G01R3312
IPC分类号
G01R3310 G01R33032 G01R3128 G01N2782
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
赵静
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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