共 50 条
一种面向集成电路制造的缺陷检测方法及系统
被引:0
专利类型:
发明
申请号:
CN202510469588.3
申请日:
2025-04-15
公开(公告)号:
CN119986338A
公开(公告)日:
2025-05-13
发明(设计)人:
任尚勇
黄宝金
张柏国
谢奇
申请人:
黑龙江青化民爆器材有限公司
申请人地址:
151600 黑龙江省绥化市青冈县青冈镇青安路南一公里处
IPC主分类号:
G01R31/28
IPC分类号:
G01B11/00
G01B11/24
G01B11/30
G01N23/2251
H01L21/66
H01L21/67
B07C5/34
B07C5/02
B07B1/28
代理机构:
北京工匠慧信知识产权代理事务所(普通合伙) 16227
代理人:
于婷婷
法律状态:
发明专利申请公布后的撤回
国省代码:
黑龙江省
绥化市
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2025-06-13 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):G01R 31/28申请公布日:20250513 |
2025-05-13 | 公开 | 公开 |
2025-05-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/28申请日:20250415 |