一种面向集成电路制造的缺陷检测方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510469588.3

申请日：

2025-04-15

公开(公告)号：

CN119986338A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

任尚勇黄宝金张柏国谢奇

申请人：

黑龙江青化民爆器材有限公司

申请人地址：

151600 黑龙江省绥化市青冈县青冈镇青安路南一公里处

IPC主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01B11/00 G01B11/24 G01B11/30 G01N23/2251 H01L21/66 H01L21/67 B07C5/34 B07C5/02 B07B1/28

代理机构：

北京工匠慧信知识产权代理事务所(普通合伙) 16227

代理人：

于婷婷

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

黑龙江省绥化市

引用

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共 50 条

[21] 集成电路的制造方法及集成电路 [P].

姚国亮 ;

张邵华 ;

吴建兴 .

中国专利 :CN114171465A ,2022-03-11

[22] 集成电路及集成电路的制造方法 [P].

董忠 ;

陈计良 ;

陈庆华 .

中国专利 :CN101030553A ,2007-09-05

[23] 集成电路的制造方法及集成电路 [P].

姚国亮 ;

张邵华 ;

吴建兴 .

中国专利 :CN114171465B ,2025-03-25

[24] 集成电路及制造集成电路的方法 [P].

陈建盈 ;

陈彦臻 ;

杨耀仁 ;

张盟昇 ;

黄家恩 .

中国专利 :CN115513214A ,2022-12-23

[25] 一种半导体集成电路加工缺陷检测方法和系统 [P].

乔良 ;

高乾 .

中国专利 :CN118209839B ,2024-10-01

[26] 一种半导体集成电路加工缺陷检测方法和系统 [P].

乔良 ;

高乾 .

中国专利 :CN118209839A ,2024-06-18

[27] 集成电路制造方法及半导体集成电路 [P].

岩桥大辅 ;

东岛胜义 ;

清原督三 .

中国专利 :CN102473198A ,2012-05-23

[28] 一种检测集成电路缺陷的方法及装置 [P].

黄锡军 ;

刘彦静 .

中国专利 :CN112505527A ,2021-03-16

[29] 一种检测集成电路缺陷的方法及装置 [P].

黄锡军 ;

刘彦静 .

中国专利 :CN112505527B ,2024-03-22

[30] 集成电路制造系统 [P].

林逸宏 ;

李志鸿 ;

卢昶伸 ;

李资良 ;

李启弘 .

中国专利 :CN113707598A ,2021-11-26

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-13	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):G01R 31/28申请公布日:20250513
2025-05-13	公开	公开
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/28申请日:20250415