改进的薄膜厚度测量方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99803134.8

申请日：

1999-10-21

公开(公告)号：

CN1291284A

公开(公告)日：

2001-04-11

发明(设计)人：

M·福克斯 M·约菲 M·巴尼特

申请人：

申请人地址：

荷兰艾恩德霍芬

IPC主分类号：

G01N2163

IPC分类号：

G01N2924

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

梁永;傅康

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-12-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2001-06-20	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2001-04-11	公开	公开

共 50 条

[1] 薄膜厚度测量装置和薄膜厚度测量方法 [P].

张原赫 ;

李洙莲 ;

李孝善 ;

咸守娥 .

韩国专利 :CN120351872A ,2025-07-22

[2] 薄膜厚度测量方法和薄膜厚度测量装置 [P].

李建北 ;

张晓梅 .

中国专利 :CN120668009A ,2025-09-19

[3] 改进的薄膜厚度测量 [P].

J·S·马萨 .

中国专利 :CN102458681A ,2012-05-16

[4] 薄膜厚度测量方法及装置 [P].

李起贤 ;

权途圣 ;

奇锡 ;

孙判睦 ;

车敏彻 ;

崔秉国 .

中国专利 :CN114166164A ,2022-03-11

[5] 薄膜厚度的测量方法和设备 [P].

T·W·贾辛斯基 ;

F·M·哈兰 .

中国专利 :CN101120230A ,2008-02-06

[6] 测量薄膜厚度的装置和方法 [P].

西田和史 ;

角田重幸 .

中国专利 :CN101294795A ,2008-10-29

[7] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279969A ,2015-01-14

[8] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

本胁淑雄 .

中国专利 :CN107305118A ,2017-10-31

[9] 厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763A ,2021-01-12

[10] 金属薄膜厚度测量方法 [P].

梁海林 ;

孙洪福 ;

丁同国 ;

张显良 .

中国专利 :CN105448765B ,2016-03-30

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