改进的薄膜厚度测量方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99803134.8

申请日：

1999-10-21

公开(公告)号：

CN1291284A

公开(公告)日：

2001-04-11

发明(设计)人：

M·福克斯 M·约菲 M·巴尼特

申请人：

申请人地址：

荷兰艾恩德霍芬

IPC主分类号：

G01N2163

IPC分类号：

G01N2924

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

梁永;傅康

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-12-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2001-06-20	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2001-04-11	公开	公开

共 50 条

[41] 厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

[42] 一种薄膜层厚度测量方法及测量装置 [P].

戴丹蕾 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN118794359A ,2024-10-18

[43] 厚度传感器和厚度测量方法 [P].

戚务昌 ;

姜利 .

中国专利 :CN103925867A ,2014-07-16

[44] 红外宽波段透射式塑料薄膜厚度测量装置及测量方法 [P].

孙晓刚 ;

邱超 .

中国专利 :CN102538688A ,2012-07-04

[45] 一种位相增强型薄膜厚度测量方法和系统 [P].

丁志华 ;

沈毅 ;

陈志彦 ;

赵晨 ;

鲍文 ;

李鹏 .

中国专利 :CN104655029B ,2015-05-27

[46] 厚度测量方法及装置 [P].

李晓雨 ;

王安庆 ;

康博强 .

中国专利 :CN102997833A ,2013-03-27

[47] 厚度测量方法及装置 [P].

王莹飞 ;

刘军 ;

吴正利 ;

魏强民 .

中国专利 :CN114577151A ,2022-06-03

[48] 10～100μm固体薄膜厚度的测量方法及装置 [P].

李胜利 ;

崔雪英 ;

敖青 .

中国专利 :CN103398662B ,2013-11-20

[49] 薄膜厚度的测量装置及方法 [P].

佟艳群 ;

石琳 ;

任旭东 ;

姚红兵 ;

张永康 ;

顾凌军 ;

岳震 .

中国专利 :CN104748691A ,2015-07-01

[50] 厚度测量系统以及厚度测量方法 [P].

古田哲夫 ;

石冢照雄 .

中国专利 :CN103890540A ,2014-06-25

← 1 2 3 4 5 →