改进的薄膜厚度测量方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99803134.8

申请日：

1999-10-21

公开(公告)号：

CN1291284A

公开(公告)日：

2001-04-11

发明(设计)人：

M·福克斯 M·约菲 M·巴尼特

申请人：

申请人地址：

荷兰艾恩德霍芬

IPC主分类号：

G01N2163

IPC分类号：

G01N2924

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

梁永;傅康

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-12-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2001-06-20	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2001-04-11	公开	公开

共 50 条

[21] 一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法 [P].

雷李华 ;

曹程明 ;

沈瑶琼 ;

管钰晴 ;

邹文哲 ;

傅云霞 .

中国专利 :CN115112028A ,2022-09-27

[22] 薄膜厚度测量装置 [P].

肖青 ;

傅谦 ;

张大龙 ;

王兴龙 .

中国专利 :CN204043623U ,2014-12-24

[23] 薄膜厚度测量装置 [P].

郑志远 ;

樊振军 ;

张自力 .

中国专利 :CN202041181U ,2011-11-16

[24] 薄膜厚度测量装置 [P].

刘飞翔 ;

蒲以康 .

中国专利 :CN103673903A ,2014-03-26

[25] 薄膜厚度测量装置 [P].

李焯 ;

杨进城 ;

钟茂声 ;

吕文选 .

中国专利 :CN87207427U ,1988-04-20

[26] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

日本专利 :CN114325734B ,2025-02-25

[27] 厚度测量装置与厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279968B ,2018-05-22

[28] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

D·克雷坦 .

中国专利 :CN104619264A ,2015-05-13

[29] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN114325734A ,2022-04-12

[30] 厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN107037437B ,2017-08-11

← 1 2 3 4 5 →