一种光栅可切换位移测量装置、测量方法及光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911206979.7

申请日：

2019-11-29

公开(公告)号：

CN112882347B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

吴萍

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-10	授权	授权
2021-06-01	公开	公开
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191129

共 50 条

[1] 位移测量装置、位移测量方法及光刻设备 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN111457843B ,2020-07-28

[2] 拼接光栅位移测量系统及测量方法 [P].

李文昊 ;

刘林 ;

刘兆武 ;

尹云飞 ;

白宇 ;

王玮 ;

于宏柱 ;

吉日嘎兰图 .

中国专利 :CN112097644A ,2020-12-18

[3] 光栅线位移测量方法及测量装置 [P].

吴宏圣 ;

卢振武 ;

乔栋 ;

孙强 ;

赵建 ;

曾琪峰 .

中国专利 :CN102607429A ,2012-07-25

[4] 光栅位移测量方法 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

于宏柱 ;

王玮 ;

吉日嘎兰图 ;

姚雪峰 .

中国专利 :CN112097648B ,2020-12-18

[5] 位移测量装置、测量系统及位移测量方法 [P].

近藤智则 ;

铃木祐太 ;

的场贤一 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN109557545A ,2019-04-02

[6] 一种位移测量装置及测量方法 [P].

赵宗良 ;

狄仁举 ;

徐琳琳 ;

惠芳 ;

汤春 .

中国专利 :CN110017751A ,2019-07-16

[7] 位移测量装置、掩模台测量系统和光刻机 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN212806922U ,2021-03-26

[8] 位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083B ,2025-04-04

[9] 位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083A ,2025-03-14

[10] 位移测量装置、位移测量系统和位移测量方法 [P].

曾有军 ;

杨峰 ;

聂义 ;

安文慧 .

中国专利 :CN119197278A ,2024-12-27

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