位移测量装置、位移测量系统和位移测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310756842.9

申请日：

2023-06-25

公开(公告)号：

CN119197278A

公开(公告)日：

2024-12-27

发明(设计)人：

曾有军杨峰聂义安文慧

申请人：

精量电子（深圳）有限公司泰连传感器德国有限公司

申请人地址：

518057 广东省深圳市南山区高新技术园北区朗山路26号精量电子亚洲总部大楼

IPC主分类号：

G01B7/02

IPC分类号：

代理机构：

上海脱颖律师事务所 31259

代理人：

殷澄

法律状态：

公开

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-27	公开	公开
2025-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 7/02申请日:20230625

共 50 条

[1] 位移测量装置和位移测量方法 [P].

梅辉 ;

曾有军 ;

安德里亚斯·沃斯 ;

阿明·迈森伯格 .

中国专利 :CN115711570B ,2025-08-08

[2] 位移测量装置、测量系统及位移测量方法 [P].

近藤智则 ;

铃木祐太 ;

的场贤一 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN109557545A ,2019-04-02

[3] 位移测量方法和位移测量装置 [P].

小山胜弘 ;

池田正人 .

中国专利 :CN102834690A ,2012-12-19

[4] 位移测量装置和位移测量方法 [P].

安达聪 ;

徳洋平 ;

长谷川年洋 .

中国专利 :CN105806201A ,2016-07-27

[5] 位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083B ,2025-04-04

[6] 位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083A ,2025-03-14

[7] 位移测量方法以及位移测量装置 [P].

松井优贵 ;

菅孝博 ;

泷政宏章 .

中国专利 :CN104797904B ,2015-07-22

[8] 位移测量探头、测量装置及位移测量方法 [P].

王三宏 ;

金少峰 ;

杨灏 .

中国专利 :CN115096194A ,2022-09-23

[9] 位移测量系统、光刻设备、位移测量方法和装置制造方法 [P].

B·A·J·卢蒂克休斯 ;

H·H·M·科克斯 ;

E·R·卢普斯特拉 ;

E·A·F·范德帕施 ;

H·K·范德舒特 .

中国专利 :CN101071276A ,2007-11-14

[10] 绝对式直线位移传感器、位移测量系统和位移测量方法 [P].

陈自然 ;

彭凯 ;

刘小康 ;

蒲红吉 ;

于治成 ;

欧阳辉 .

中国专利 :CN119197280A ,2024-12-27

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