位移测量装置及位移测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510167011.7

申请日：

2025-02-14

公开(公告)号：

CN119618083B

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

马海祥李小龙冯甫袁小聪

申请人：

之江实验室

申请人地址：

311121 浙江省杭州市余杭区中泰街道科创大道之江实验室

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01S17/08

代理机构：

北京博思佳知识产权代理有限公司 11415

代理人：

王厚莉

法律状态：

公开

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20250214
2025-04-04	授权	授权

共 50 条

[1] 位移测量装置及位移测量方法 [P].

马海祥 ;

李小龙 ;

冯甫 ;

袁小聪 .

中国专利 :CN119618083A ,2025-03-14

[2] 位移测量装置、测量系统及位移测量方法 [P].

近藤智则 ;

铃木祐太 ;

的场贤一 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN109557545A ,2019-04-02

[3] 位移测量装置、位移测量系统和位移测量方法 [P].

曾有军 ;

杨峰 ;

聂义 ;

安文慧 .

中国专利 :CN119197278A ,2024-12-27

[4] 位移测量装置和位移测量方法 [P].

安达聪 ;

徳洋平 ;

长谷川年洋 .

中国专利 :CN105806201A ,2016-07-27

[5] 位移测量方法和位移测量装置 [P].

小山胜弘 ;

池田正人 .

中国专利 :CN102834690A ,2012-12-19

[6] 位移测量装置和位移测量方法 [P].

梅辉 ;

曾有军 ;

安德里亚斯·沃斯 ;

阿明·迈森伯格 .

中国专利 :CN115711570B ,2025-08-08

[7] 位移测量方法以及位移测量装置 [P].

松井优贵 ;

菅孝博 ;

泷政宏章 .

中国专利 :CN104797904B ,2015-07-22

[8] 位移测量装置及采用该位移测量装置的位移测量方法 [P].

汪晓兵 ;

周松萍 ;

周沙 ;

刘伟 .

中国专利 :CN105547123A ,2016-05-04

[9] 位移测量装置、位移测量方法及光刻设备 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN111457843B ,2020-07-28

[10] 位移测量探头、测量装置及位移测量方法 [P].

王三宏 ;

金少峰 ;

杨灏 .

中国专利 :CN115096194A ,2022-09-23

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