一种光栅可切换位移测量装置、测量方法及光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911206979.7

申请日：

2019-11-29

公开(公告)号：

CN112882347B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

吴萍

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-10	授权	授权
2021-06-01	公开	公开
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191129

共 50 条

[21] 位移测量装置、位移测量方法、减振器、悬架系统及车辆 [P].

廖银生 ;

戴建飞 ;

黄流芳 ;

赵高明 ;

刘崇利 .

中国专利 :CN119779131A ,2025-04-08

[22] 位移测量装置和位移测量方法 [P].

安达聪 ;

徳洋平 ;

长谷川年洋 .

中国专利 :CN105806201A ,2016-07-27

[23] 位移测量方法和位移测量装置 [P].

小山胜弘 ;

池田正人 .

中国专利 :CN102834690A ,2012-12-19

[24] 位移测量装置和位移测量方法 [P].

梅辉 ;

曾有军 ;

安德里亚斯·沃斯 ;

阿明·迈森伯格 .

中国专利 :CN115711570B ,2025-08-08

[25] 位移测量装置及采用该位移测量装置的位移测量方法 [P].

汪晓兵 ;

周松萍 ;

周沙 ;

刘伟 .

中国专利 :CN105547123A ,2016-05-04

[26] 锥面衍射式光栅位移测量装置及测量方法 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

王玮 ;

刘林 ;

姜珊 ;

于宏柱 ;

姜岩秀 .

中国专利 :CN113819846B ,2021-12-21

[27] 位移测量方法以及位移测量装置 [P].

松井优贵 ;

菅孝博 ;

泷政宏章 .

中国专利 :CN104797904B ,2015-07-22

[28] 一种新型位移测量装置及其测量方法 [P].

王新力 .

中国专利 :CN104567742A ,2015-04-29

[29] 一种角度位移测量装置及其测量方法 [P].

于海 ;

万秋华 ;

赵长海 ;

卢新然 ;

梁立辉 .

中国专利 :CN109238176A ,2019-01-18

[30] 一种滑坡位移测量装置及其测量方法 [P].

陆琦 ;

马乐乐 ;

孙国辉 ;

孙志军 ;

苏胜军 ;

华建兵 ;

冯安 ;

刘齐放 .

中国专利 :CN112013803B ,2020-12-01

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