一种光栅可切换位移测量装置、测量方法及光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911206979.7

申请日：

2019-11-29

公开(公告)号：

CN112882347B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

吴萍

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-10	授权	授权
2021-06-01	公开	公开
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191129

共 50 条

[41] 一种涡旋光束激励的精密光栅位移测量装置及测量方法 [P].

叶国永 ;

张亚琳 ;

袁涛 ;

金少搏 ;

王通 ;

刘旭玲 ;

王辉 .

中国专利 :CN114739295A ,2022-07-12

[42] 一种旋转阀位移量测量方法及旋转阀位移测量装置 [P].

任文彬 ;

王赞顺 .

中国专利 :CN117705039B ,2024-04-09

[43] 一种旋转阀位移量测量方法及旋转阀位移测量装置 [P].

任文彬 ;

王赞顺 .

中国专利 :CN117705039A ,2024-03-15

[44] 一种光栅尺的位移测量装置、方法及系统 [P].

王晗 ;

詹道桦 ;

陈新 ;

董永超 ;

何超 ;

徐文杰 ;

何潇 ;

刘强 ;

杨志军 ;

蔡念 .

中国专利 :CN110146025B ,2019-08-20

[45] 一种干涉测量装置、测量方法及光刻设备 [P].

王倩倩 ;

黄逊志 ;

党宝生 .

中国专利 :CN110966939A ,2020-04-07

[46] 光栅尺测量装置及测量方法 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN112577431B ,2021-03-30

[47] 一种用于水下的位移测量装置及位移测量方法 [P].

刘浩然 ;

乔岳坤 ;

董志强 ;

李俊 .

中国专利 :CN119555004A ,2025-03-04

[48] 一种用于水下的位移测量装置及位移测量方法 [P].

刘浩然 ;

乔岳坤 ;

董志强 ;

李俊 .

中国专利 :CN119555004B ,2025-06-10

[49] 零差一维光栅位移测量装置 [P].

吉日嘎兰图 ;

尹云飞 ;

李文昊 ;

刘兆武 ;

王玮 .

中国专利 :CN112484646A ,2021-03-12

[50] 一种落锤试验机位移测量装置及测量方法 [P].

王大建 .

中国专利 :CN118362384A ,2024-07-19

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