一种光栅可切换位移测量装置、测量方法及光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911206979.7

申请日：

2019-11-29

公开(公告)号：

CN112882347B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

吴萍

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-10	授权	授权
2021-06-01	公开	公开
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20191129

共 50 条

[11] 霍尔位移测量装置及测量方法 [P].

张东来 .

中国专利 :CN101482387A ,2009-07-15

[12] 一种角位移测量装置及测量方法 [P].

王慧 ;

薛峰 ;

邢蓉 .

中国专利 :CN103308023A ,2013-09-18

[13] 一种力-位移测量装置及测量方法 [P].

唐永红 ;

李颢 ;

王春艳 ;

王舟 ;

李丹 ;

韩敏 .

中国专利 :CN113670490A ,2021-11-19

[14] 测量装置、曝光装置、光刻系统、测量方法及曝光方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN111176084A ,2020-05-19

[15] 外差二维光栅位移测量系统及测量方法 [P].

刘兆武 ;

李文昊 ;

吉日嘎兰图 ;

于宏柱 ;

王玮 ;

姚雪峰 ;

尹云飞 .

中国专利 :CN112097651B ,2020-12-18

[16] 一种桥梁结构位移测量装置及测量方法 [P].

张新 ;

党王辉 ;

章清涛 ;

白光耀 ;

马祥辉 ;

王晓然 ;

牛艳伟 .

中国专利 :CN114234782A ,2022-03-25

[17] 一种高精度位移测量装置及测量方法 [P].

王鸣山 ;

王胜男 .

中国专利 :CN108709521A ,2018-10-26

[18] 一种桥梁结构位移测量装置及测量方法 [P].

张新 ;

党王辉 ;

章清涛 ;

白光耀 ;

马祥辉 ;

王晓然 ;

牛艳伟 .

中国专利 :CN114234782B ,2024-08-13

[19] 外差一维光栅位移测量装置 [P].

吉日嘎兰图 ;

尹云飞 ;

李文昊 ;

刘兆武 ;

刘林 ;

白宇 .

中国专利 :CN112504131B ,2021-03-16

[20] 外差光栅位移测量方法 [P].

李文昊 ;

刘兆武 ;

王玮 ;

于宏柱 ;

吉日嘎兰图 ;

姚雪峰 .

中国专利 :CN112097650A ,2020-12-18

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