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MEMS传感器的外部封装结构、MEMS传感器及电子设备
被引:0
专利类型:
实用新型
申请号:
CN202022605003.1
申请日:
2020-11-11
公开(公告)号:
CN213679811U
公开(公告)日:
2021-07-13
发明(设计)人:
于永革
孟凡亮
潘珊珊
赵文慧
申请人:
申请人地址:
266100 山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
IPC主分类号:
B81B700
IPC分类号:
B81B702
代理机构:
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287
代理人:
梁馨怡
法律状态:
授权
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2021-07-13 | 授权 | 授权 |