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MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备
被引:0
专利类型:
发明
申请号:
CN202411280668.6
申请日:
2024-09-12
公开(公告)号:
CN119284825A
公开(公告)日:
2025-01-10
发明(设计)人:
周中恒
徐恩强
齐利克
申请人:
歌尔微电子股份有限公司
申请人地址:
266101 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼
IPC主分类号:
B81B7/02
IPC分类号:
B81B7/00
B81C1/00
代理机构:
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442
代理人:
张春雨
法律状态:
实质审查的生效
国省代码:
山东省
青岛市
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2025-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/02申请日:20240912 |
2025-01-10 | 公开 | 公开 |