MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410813175.8

申请日：

2024-06-21

公开(公告)号：

CN118829342A

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

陈晨王雨晨牟倩倩陈磊周志健

申请人：

歌尔微电子股份有限公司

申请人地址：

266101 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼

IPC主分类号：

H10N30/30

IPC分类号：

G01L5/00 G01L1/16 H10N30/057 B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442

代理人：

吴秀娥

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10N 30/30申请日:20240621
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1] MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P].

李瑞劼 ;

刘波 .

中国专利 :CN119450321A ,2025-02-14

[2] MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P].

周中恒 ;

徐恩强 ;

齐利克 .

中国专利 :CN119284825A ,2025-01-10

[3] MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119568982A ,2025-03-07

[4] MEMS传感器、电子设备 [P].

高木成和 .

中国专利 :CN101885465A ,2010-11-17

[5] MEMS传感器及电子设备 [P].

邹泉波 ;

冷群文 .

中国专利 :CN109941956B ,2019-06-28

[6] MEMS传感器及电子设备 [P].

于文秀 ;

闫文明 .

中国专利 :CN222689306U ,2025-03-28

[7] MEMS传感器及电子设备 [P].

周汪洋 ;

邹泉波 ;

冷群文 ;

安琪 ;

赵海轮 ;

丁凯文 ;

周良 .

中国专利 :CN112995871B ,2021-06-18

[8] MEMS传感器的外部封装结构、MEMS传感器及电子设备 [P].

于文秀 ;

付博 .

中国专利 :CN212712731U ,2021-03-16

[9] MEMS传感器的外部封装结构、MEMS传感器及电子设备 [P].

于永革 ;

孟凡亮 ;

潘珊珊 ;

赵文慧 .

中国专利 :CN213679811U ,2021-07-13

[10] MEMS声学传感器、电子设备及MEMS声学传感器的制备方法 [P].

邹泉波 .

中国专利 :CN118057850A ,2024-05-21

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