共 50 条
等离子体源
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN00104533.4
申请日：
2000-02-02
公开(公告)号：
CN1269692A
公开(公告)日：
2000-10-11
发明(设计)人：
酒井滋树
高桥正人
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H05H124
IPC分类号：
H05H302
H01J2718
H01J3708
C23C1448
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
叶恺东
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2005-03-02 | 授权 | 授权 |
| 2001-06-06 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2006-05-24 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更事项:专利权人 变更前权利人:日新电机株式会社 变更后权利人:日新离子设备株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本京都府 变更后权利人:日本京都府 登记生效日:20060421 |
| 2015-04-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101603733883 IPC(主分类):H05H 1/24 专利号:ZL001045334 申请日:20000202 授权公告日:20050302 终止日期:20140202 |
| 2000-10-11 | 公开 | 公开 |
| 2006-09-27 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 变更事项:专利权人 变更前:日新离子设备株式会社 变更后:日新意旺机械股份公司 |
