等离子体源

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN201730416741.2

申请日：

2017-09-05

公开(公告)号：

CN304546178S

公开(公告)日：

2018-03-20

发明(设计)人：

井内裕

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

1599

IPC分类号：

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

鹿屹;李雪春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-20	授权	授权

共 50 条

[1] 等离子体源衬垫 [P].

埃里克·克哈雷·施诺 .

中国专利 :CN304848899S ,2018-10-12

[2] 等离子体源 [P].

酒井滋树 ;

高桥正人 .

中国专利 :CN1269692A ,2000-10-11

[3] 等离子体源 [P].

藤田秀树 ;

糸井骏 .

中国专利 :CN109119314A ,2019-01-01

[4] 等离子体源 [P].

S·克拉斯尼特泽 ;

J·哈格曼恩 .

中国专利 :CN105144338A ,2015-12-09

[5] 等离子体源 [P].

井内裕 ;

谷井正博 .

中国专利 :CN103779155B ,2014-05-07

[6] 等离子体源 [P].

加里·普劳德富特 ;

克里斯托弗·戴维·乔治 ;

保罗·埃杜拉多·利马 .

中国专利 :CN101490794A ,2009-07-22

[7] 等离子体源 [P].

维克托·贝利多-刚扎雷兹 .

中国专利 :CN104718598A ,2015-06-17

[8] 等离子体源 [P].

弗洛林·丹尼尔·多米尼克 ;

文森特·勒克莱尔 ;

埃里克·西尔伯伯格 ;

阿兰·丹尼尔 .

中国专利 :CN104996000B ,2015-10-21

[9] 等离子体源 [P].

糸井骏 ;

藤田秀树 .

中国专利 :CN108933076A ,2018-12-04

[10] 等离子体源 [P].

S.克拉斯尼策尔 ;

D.伦迪 ;

J.哈格曼 .

中国专利 :CN103765551A ,2014-04-30

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