共 50 条
等离子体源
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810036200.0
申请日：
2018-01-15
公开(公告)号：
CN109119314A
公开(公告)日：
2019-01-01
发明(设计)人：
藤田秀树
糸井骏
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01J3708
IPC分类号：
H01J37317
代理机构：
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290
代理人：
李成必;李雪春
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-01 | 公开 | 公开 |
| 2020-10-09 | 授权 | 授权 |
| 2019-02-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/08 申请日:20180115 |
