MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810865573.9

申请日：

2018-08-01

公开(公告)号：

CN109319727A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

A·德厄 M·菲尔德纳 A·韦斯鲍尔

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

H04R1904 G01L912

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑立柱;张鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	公开	公开
2020-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20180801

共 50 条

[21] MEMS传感器 [P].

田中健一 ;

大川尚信 ;

矢泽久幸 ;

朝比奈宏行 ;

臼井学 ;

石曽根昌彦 ;

梅津英治 .

中国专利 :CN104760923A ,2015-07-08

[22] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN112758884B ,2025-02-25

[23] MEMS传感器 [P].

邹泉波 ;

冷群文 .

中国专利 :CN109246566A ,2019-01-18

[24] MEMS传感器 [P].

徐香菊 .

中国专利 :CN209065411U ,2019-07-05

[25] MEMS传感器 [P].

高桥亨 ;

牛肠英纪 ;

小林洁 .

中国专利 :CN102160185B ,2011-08-17

[26] MEMS传感器 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101792110A ,2010-08-04

[27] MEMS传感器 [P].

穆洪峰 .

中国专利 :CN222803011U ,2025-04-25

[28] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN112758884A ,2021-05-07

[29] MEMS传感器 [P].

李刚 ;

胡维 .

中国专利 :CN201610373U ,2010-10-20

[30] MEMS传感器 [P].

付齐 ;

季锋 ;

刘琛 ;

陈有鑫 ;

贺锦 .

中国专利 :CN222167060U ,2024-12-13

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