MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810865573.9

申请日：

2018-08-01

公开(公告)号：

CN109319727A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

A·德厄 M·菲尔德纳 A·韦斯鲍尔

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

H04R1904 G01L912

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑立柱;张鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	公开	公开
2020-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20180801

共 50 条

[41] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

迟海 ;

宋学谦 .

中国专利 :CN215288001U ,2021-12-24

[42] MEMS传感器 [P].

宫武亨 ;

小林俊宏 ;

宇都宜隆 ;

矢泽久幸 ;

高桥亨 .

中国专利 :CN102792168B ,2012-11-21

[43] MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

中国专利 :CN110498385A ,2019-11-26

[44] MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

德国专利 :CN110498385B ,2024-08-30

[45] MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23

[46] MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080B ,2024-02-20

[47] MEMS传感器防尘装置及MEMS传感器 [P].

徐海胜 .

中国专利 :CN213906934U ,2021-08-06

[48] 具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

T·弗里德里希 ;

K·德塞尔 ;

C·赫尔梅斯 .

中国专利 :CN113226977A ,2021-08-06

[49] 具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

T·弗里德里希 ;

K·德塞尔 ;

C·赫尔梅斯 .

德国专利 :CN113226977B ,2024-12-20

[50] MEMS传感器器件 [P].

A·托齐奥 ;

F·里奇尼 ;

L·奎利诺尼 .

中国专利 :CN206348355U ,2017-07-21

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