MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980137265.3

申请日：

2009-09-18

公开(公告)号：

CN102160185B

公开(公告)日：

2011-08-17

发明(设计)人：

高桥亨牛肠英纪小林洁

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2984

IPC分类号：

G01P1508 G01P15125

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

刘建

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101113916839 IPC(主分类):H01L 29/84 专利申请号:2009801372653 申请日:20090918
2019-03-22	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 29/84 变更事项:专利权人变更前:阿尔卑斯电气株式会社变更后:阿尔卑斯阿尔派株式会社变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本东京都
2011-08-17	公开	公开
2020-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 29/84 申请日:20090918 授权公告日:20130403 终止日期:20190918
2013-04-03	授权	授权

共 50 条

[1] MEMS传感器 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101792110A ,2010-08-04

[2] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN215288002U ,2021-12-24

[3] MEMS传感器 [P].

王凯 ;

陈虎 ;

刘国俊 .

中国专利 :CN206488866U ,2017-09-12

[4] MEMS传感器 [P].

樱木正広 .

日本专利 :CN118145587A ,2024-06-07

[5] MEMS传感器 [P].

托马斯·弗勒利希 ;

马克·尼德伯格 ;

科林·斯蒂尔 ;

雷内·朔伊纳 ;

托马斯·克里斯坦 ;

卢卡斯·佩尔克托尔德 ;

范维东 .

中国专利 :CN109983692A ,2019-07-05

[6] MEMS传感器 [P].

刘清惓 ;

李海涛 ;

韩晓丹 ;

曹鸿霞 .

中国专利 :CN103743789A ,2014-04-23

[7] MEMS传感器 [P].

田中健一 ;

大川尚信 ;

矢泽久幸 ;

朝比奈宏行 ;

臼井学 ;

石曽根昌彦 ;

梅津英治 .

中国专利 :CN104760923A ,2015-07-08

[8] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN112758884B ,2025-02-25

[9] MEMS传感器 [P].

邹泉波 ;

冷群文 .

中国专利 :CN109246566A ,2019-01-18

[10] MEMS传感器 [P].

徐香菊 .

中国专利 :CN209065411U ,2019-07-05

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