MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780071931.2

申请日：

2017-10-24

公开(公告)号：

CN109983692A

公开(公告)日：

2019-07-05

发明(设计)人：

托马斯·弗勒利希马克·尼德伯格科林·斯蒂尔雷内·朔伊纳托马斯·克里斯坦卢卡斯·佩尔克托尔德范维东

申请人：

申请人地址：

瑞士拉柏斯维尔

IPC主分类号：

H03F126

IPC分类号：

H03F134 H03F3181 H03F345 H03F370

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

谢攀;王春伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-05	公开	公开
2019-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H03F 1/26 申请日:20171024

共 50 条

[1] MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

[2] MEMS传感器 [P].

P·威尔逊 ;

K·科杜尔 .

中国专利 :CN110383680A ,2019-10-25

[3] MEMS传感器器件 [P].

A·托齐奥 ;

F·里奇尼 ;

L·奎利诺尼 .

中国专利 :CN206348355U ,2017-07-21

[4] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN215288002U ,2021-12-24

[5] MEMS传感器 [P].

王凯 ;

陈虎 ;

刘国俊 .

中国专利 :CN206488866U ,2017-09-12

[6] MEMS传感器 [P].

樱木正広 .

日本专利 :CN118145587A ,2024-06-07

[7] MEMS传感器 [P].

刘清惓 ;

李海涛 ;

韩晓丹 ;

曹鸿霞 .

中国专利 :CN103743789A ,2014-04-23

[8] MEMS传感器 [P].

田中健一 ;

大川尚信 ;

矢泽久幸 ;

朝比奈宏行 ;

臼井学 ;

石曽根昌彦 ;

梅津英治 .

中国专利 :CN104760923A ,2015-07-08

[9] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN112758884B ,2025-02-25

[10] MEMS传感器 [P].

邹泉波 ;

冷群文 .

中国专利 :CN109246566A ,2019-01-18

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