MEMS传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780071931.2

申请日：

2017-10-24

公开(公告)号：

CN109983692A

公开(公告)日：

2019-07-05

发明(设计)人：

托马斯·弗勒利希马克·尼德伯格科林·斯蒂尔雷内·朔伊纳托马斯·克里斯坦卢卡斯·佩尔克托尔德范维东

申请人：

申请人地址：

瑞士拉柏斯维尔

IPC主分类号：

H03F126

IPC分类号：

H03F134 H03F3181 H03F345 H03F370

代理机构：

北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413

代理人：

谢攀;王春伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-05	公开	公开
2019-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H03F 1/26 申请日:20171024

共 50 条

[41] MEMS传感器芯片 [P].

何宪龙 ;

詹竣凯 ;

罗松成 ;

李承勲 .

中国专利 :CN111711901B ,2020-09-25

[42] MEMS传感器模组 [P].

甘忠宗 ;

蔡锐 ;

王亚奇 ;

张睿 .

中国专利 :CN223118148U ,2025-07-18

[43] MEMS气体传感器 [P].

D·图姆波德 .

德国专利 :CN111751285B ,2024-09-20

[44] MEMS气体传感器 [P].

D·图姆波德 .

中国专利 :CN111751285A ,2020-10-09

[45] MEMS传感器组件 [P].

W.帕尔 .

中国专利 :CN107635910A ,2018-01-26

[46] MEMS传感器结构 [P].

陈达 .

中国专利 :CN218145866U ,2022-12-27

[47] MEMS传感器结构 [P].

刘云峰 ;

严斌 ;

尹永刚 ;

董景新 .

中国专利 :CN205709848U ,2016-11-23

[48] MEMS传感器模组 [P].

甘忠宗 ;

蔡锐 ;

王亚奇 ;

肖小军 ;

张睿 .

中国专利 :CN223118147U ,2025-07-18

[49] MEMS传感器结构 [P].

陈达 ;

刘孟彬 ;

丁敬秀 .

中国专利 :CN218145867U ,2022-12-27

[50] MEMS声传感器 [P].

雅尼克·凯夫兰 .

中国专利 :CN112261526B ,2021-01-22

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