一种位移测量系统以及曝光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710114465.3

申请日：

2017-02-28

公开(公告)号：

CN108508706B

公开(公告)日：

2018-09-07

发明(设计)人：

陈南曙张金贵

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-07	公开	公开
2018-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170228
2020-04-10	授权	授权

共 50 条

[41] 一种光学位移测量系统 [P].

马军 ;

钟美鹏 ;

钭忠尚 ;

姚方周 ;

陈斌杰 ;

周余庆 .

中国专利 :CN118031809A ,2024-05-14

[42] 一种光学位移测量系统 [P].

伍剑 ;

袁波 .

中国专利 :CN203687880U ,2014-07-02

[43] 一种位移测量系统和装置 [P].

张磊 ;

张伟 .

中国专利 :CN104515463A ,2015-04-15

[44] 一种位移测量系统和装置 [P].

张伟 .

中国专利 :CN104515464A ,2015-04-15

[45] 一种结构物位移测量系统 [P].

徐智 ;

胡元君 ;

但维 .

中国专利 :CN222822362U ,2025-05-02

[46] 一种结构物位移测量系统 [P].

徐辉 ;

宋爽 ;

姚鸿梁 .

中国专利 :CN214199982U ,2021-09-14

[47] 一种位移测量系统及方法 [P].

严家林 ;

蒋进新 .

中国专利 :CN120212874A ,2025-06-27

[48] 用于传感器装置的位移测量系统 [P].

李广金 ;

石坚 ;

李秉恒 .

中国专利 :CN208171165U ,2018-11-30

[49] 一种双视角视觉位移测量系统及方法 [P].

余志武 ;

戴吾蛟 ;

邢磊 ;

张云生 .

中国专利 :CN113029009B ,2021-06-25

[50] 一种线位移测量系统的现场校准装置 [P].

项勇 ;

王敏 ;

孙中升 .

中国专利 :CN103673900A ,2014-03-26

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