一种位移测量系统以及曝光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710114465.3

申请日：

2017-02-28

公开(公告)号：

CN108508706B

公开(公告)日：

2018-09-07

发明(设计)人：

陈南曙张金贵

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1102

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-07	公开	公开
2018-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170228
2020-04-10	授权	授权

共 50 条

[21] 一种基于磁致位移传感器的多点位移测量系统及方法 [P].

谭斌 ;

赵初林 ;

雷霆 ;

沈省三 ;

赵营海 .

中国专利 :CN110375631A ,2019-10-25

[22] 一种裂缝错动位移测量系统及测量方法 [P].

马君伟 ;

熊宇 ;

徐正涛 ;

张伟帆 ;

宋晨旭 ;

苏亚凌 ;

陈思齐 ;

吕佳政 ;

尹邵层 .

中国专利 :CN110849306A ,2020-02-28

[23] 一种视觉位移测量系统 [P].

张亦明 ;

程荣 .

中国专利 :CN206056513U ,2017-03-29

[24] 一种多点位移测量系统 [P].

黄友华 .

中国专利 :CN102095355A ,2011-06-15

[25] 一种位移传感器的位置调节总成及病床急停位移测量系统 [P].

高吉敏 ;

王强 ;

黄振强 .

中国专利 :CN213874162U ,2021-08-03

[26] 尖轨位移测量装置及测量系统 [P].

李建国 ;

李霆睿 .

中国专利 :CN118004239A ,2024-05-10

[27] 一种拉线位移计及位移测量系统 [P].

黄礼贵 ;

练裕锋 ;

苏禄广 ;

卢庆庆 ;

谢明杰 .

中国专利 :CN216815396U ,2022-06-24

[28] 位移测量系统 [P].

张书练 ;

曾召利 ;

李岩 .

中国专利 :CN103115571B ,2013-05-22

[29] 位移测量系统 [P].

贺清先 .

中国专利 :CN2641586Y ,2004-09-15

[30] 位移测量系统 [P].

张书练 ;

曾召利 ;

谈宜东 ;

李岩 .

中国专利 :CN103075966A ,2013-05-01

← 1 2 3 4 5 →