MEMS传感器器件和相关MEMS传感器器件的晶片级组件

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专利类型
发明
申请号
CN201410181932.0
申请日
2014-04-28
公开(公告)号
CN104140071B
公开(公告)日
2014-11-12
发明(设计)人
S·康蒂 M·佩尔勒蒂 R·卡米纳蒂 L·巴尔多 A·莫塞利
申请人
申请人地址
意大利阿格拉布里安扎
IPC主分类号
B81B700
IPC分类号
代理机构
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
王茂华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[41]   MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P]. 
樱木正広 .
日本专利 :CN118145588A ,2024-06-07
[42]   MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P]. 
乾喜行 ;
藤田有真 .
日本专利 :CN117699732A ,2024-03-15
[43]   MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法 [P]. 
A·德厄 ;
M·菲尔德纳 ;
A·韦斯鲍尔 .
中国专利 :CN109319727A ,2019-02-12
[44]   MEMS器件、传感器和电子设备 [P]. 
王景雪 ;
宋青林 ;
党茂强 ;
刘诗婧 .
中国专利 :CN119865749A ,2025-04-22
[45]   用于MEMS传感器器件的晶片级封装及对应制造工艺 [P]. 
C·卡奇雅 ;
D·O·韦拉 ;
D·阿吉厄斯 ;
M·斯皮特里 .
中国专利 :CN110329983A ,2019-10-15
[46]   用于MEMS传感器器件的晶片级封装及对应制造工艺 [P]. 
C·卡奇雅 ;
D·O·韦拉 ;
D·阿吉厄斯 ;
M·斯皮特里 .
:CN110329983B ,2024-09-27
[47]   用于MEMS传感器器件的晶片级封装及对应制造工艺 [P]. 
C·卡奇雅 ;
D·O·韦拉 ;
D·阿吉厄斯 ;
M·斯皮特里 .
中国专利 :CN105731354A ,2016-07-06
[48]   MEMS传感器及半导体封装器件 [P]. 
饶杰 ;
段志伟 ;
黄定海 .
中国专利 :CN203768003U ,2014-08-13
[49]   MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P]. 
李宗伟 ;
韩可都 ;
刘婧 ;
冯方方 ;
杨长春 .
中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07
[50]   MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P]. 
庄瑞芬 ;
李刚 .
中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23