MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810865573.9

申请日：

2018-08-01

公开(公告)号：

CN109319727A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

A·德厄 M·菲尔德纳 A·韦斯鲍尔

申请人：

申请人地址：

德国诺伊比贝尔格

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

H04R1904 G01L912

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑立柱;张鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	公开	公开
2020-06-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/02 申请日:20180801

共 50 条

[1] MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

中国专利 :CN113474281A ,2021-10-01

[2] MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

德国专利 :CN113474281B ,2024-10-29

[3] MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

刘婧 ;

冯方方 ;

杨长春 .

中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07

[4] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

纸西大祐 ;

M·W·黑勒 ;

藤田有真 .

日本专利 :CN118339460A ,2024-07-12

[5] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101353153B ,2009-01-28

[6] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 ;

冈田瑞穗 ;

山下宜久 .

中国专利 :CN101353152A ,2009-01-28

[7] MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07

[8] MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15

[9] 用于制造MEMS传感器的方法和MEMS传感器 [P].

M·施泰尔特 .

中国专利 :CN109422239A ,2019-03-05

[10] MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

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