外差一维光栅位移测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011287160.0

申请日：

2020-11-17

公开(公告)号：

CN112504131B

公开(公告)日：

2021-03-16

发明(设计)人：

吉日嘎兰图尹云飞李文昊刘兆武刘林白宇

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218

代理人：

高一明;郭婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-28	授权	授权
2021-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20201117
2021-03-16	公开	公开

共 50 条

[21] 光栅干涉型位移测量装置 [P].

大崎基弘 ;

富谷雅树 .

中国专利 :CN1215308C ,2003-09-10

[22] 基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法 [P].

李文昊 ;

吕强 ;

巴音贺希格 ;

宋莹 ;

刘兆武 ;

王玮 .

中国专利 :CN107462166B ,2017-12-12

[23] 一种对称式紧凑型外差干涉光栅位移测量系统 [P].

林存宝 ;

廖育荣 ;

丁丹 ;

李云涛 ;

孟磊 .

中国专利 :CN110360931A ,2019-10-22

[24] 一种光栅可切换位移测量装置、测量方法及光刻系统 [P].

吴萍 .

中国专利 :CN112882347B ,2021-06-01

[25] 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 [P].

张鸣 ;

朱煜 ;

王磊杰 ;

吴亚风 ;

刘召 ;

杨开明 ;

成荣 ;

徐登峰 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

尹文生 ;

胡楚雄 ;

祁利山 .

中国专利 :CN103759656B ,2014-04-30

[26] 光栅线位移测量方法及测量装置 [P].

吴宏圣 ;

卢振武 ;

乔栋 ;

孙强 ;

赵建 ;

曾琪峰 .

中国专利 :CN102607429A ,2012-07-25

[27] 光栅位移测量装置 [P].

李振雄 ;

李长生 .

中国专利 :CN201059961Y ,2008-05-14

[28] 光栅位移测量装置 [P].

刘逍 ;

刁雷 ;

王欣怡 ;

王鑫伟 ;

于大维 ;

蓝科 .

中国专利 :CN117367286A ,2024-01-09

[29] 光栅位移测量装置 [P].

任绍卿 ;

张荔萍 ;

王卫东 .

中国专利 :CN203163691U ,2013-08-28

[30] 光栅位移测量装置 [P].

王春海 ;

张国雄 ;

郭尚旗 .

中国专利 :CN1146551A ,1997-04-02

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