MEMS惯性传感器和电子设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021159685.1
申请日
2020-06-19
公开(公告)号
CN212568844U
公开(公告)日
2021-02-19
发明(设计)人
G·加特瑞 F·里奇尼 A·托齐奥
申请人
申请人地址
意大利阿格拉布里安扎
IPC主分类号
G01P15125
IPC分类号
代理机构
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
董莘
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[41]   MEMS传感器及电子设备 [P]. 
周汪洋 ;
邹泉波 ;
冷群文 ;
安琪 ;
赵海轮 ;
丁凯文 ;
周良 .
中国专利 :CN112995871B ,2021-06-18
[42]   MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN104891418A ,2015-09-09
[43]   MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN204675826U ,2015-09-30
[44]   MEMS惯性传感器、湿度传感器集成装置 [P]. 
郑国光 .
中国专利 :CN204758028U ,2015-11-11
[45]   元件结构体、惯性传感器以及电子设备 [P]. 
高木成和 .
中国专利 :CN102313820A ,2012-01-11
[46]   元件结构体、惯性传感器以及电子设备 [P]. 
高木成和 .
中国专利 :CN102331514A ,2012-01-25
[47]   组合传感器和电子设备 [P]. 
孟晗 ;
刘兵 .
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[48]   MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P]. 
李瑞劼 ;
刘波 .
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[49]   MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P]. 
周中恒 ;
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齐利克 .
中国专利 :CN119284825A ,2025-01-10
[50]   MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备 [P]. 
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王雨晨 ;
牟倩倩 ;
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