一种集成电路及集成电路通孔偏移检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510470758.X
申请日
2025-04-15
公开(公告)号
CN120184150A
公开(公告)日
2025-06-20
发明(设计)人
张凯 殷鹏 王正文
申请人
成都紫光国芯电子有限公司 西安紫光国芯半导体股份有限公司
申请人地址
610041 四川省成都市高新区蜀新大道666号2号楼3层C2-2-3-001号
IPC主分类号
H01L23/544
IPC分类号
H01L21/66 H10B12/00
代理机构
西安佩腾特知识产权代理事务所(普通合伙) 61226
代理人
张倩
法律状态
公开
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
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