MEMS传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420229200.3

申请日：

2024-01-30

公开(公告)号：

CN222167060U

公开(公告)日：

2024-12-13

发明(设计)人：

付齐季锋刘琛陈有鑫贺锦

申请人：

杭州士兰集昕微电子有限公司

申请人地址：

310012 浙江省杭州市钱塘新区10号大街（东）308号13幢

IPC主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

B81B7/02

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

顾丹丽

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-13	授权	授权

共 50 条

[41] MEMS热电堆传感器 [P].

刘同庆 .

中国专利 :CN214502684U ,2021-10-26

[42] MEMS质量流量传感器 [P].

邵思 .

中国专利 :CN202494482U ,2012-10-17

[43] MEMS传感器封装结构 [P].

王之奇 ;

王宥军 ;

谢国梁 ;

胡汉青 .

中国专利 :CN206417860U ,2017-08-18

[44] 一种量子MEMS传感器探头及量子MEMS传感器 [P].

冉晓芳 ;

陈大鹏 ;

马律成 ;

邬小可 ;

王森 ;

王一川 .

中国专利 :CN218381045U ,2023-01-24

[45] 一种MEMS惯性传感器芯片模组以及MEMS传感器 [P].

虢晓双 ;

杨靖 ;

张新凯 ;

熊亮 ;

黎傲雪 ;

彭健 .

中国专利 :CN215364898U ,2021-12-31

[46] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

纸西大祐 ;

M·W·黑勒 ;

藤田有真 .

日本专利 :CN118339460A ,2024-07-12

[47] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101353153B ,2009-01-28

[48] MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

[49] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 ;

冈田瑞穗 ;

山下宜久 .

中国专利 :CN101353152A ,2009-01-28

[50] MEMS传感器的制备方法及MEMS传感器 [P].

罗志颖 .

中国专利 :CN120208160A ,2025-06-27

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